Með framúrskarandi piezoelectric og dielectric eiginleika og háan Curie hitastig samanborið við aðrar piezoelectric kvikmyndir, hafa blý zirconate titanate (PZT) filmur verið notaðar á mörgum sviðum, allt frá ör-rafmagnískum kerfum (MEMS) til ultrasonic skynjara til orku safnara, þar sem það spilar a lykilhlutverki [1]. Í því ferli að undirbúa efni, hvernig á að bæta einsleitni og frammistöðustöðugleika efna hefur verið stöðug leit að vandamálinu.
Youcao Ma o.fl. [2] tókst að samþætta míkronþykka PZT filmu á 3-tommu kísilskúffu með blöndu af miðlungshita segulrónuspúttingu og hraðri hitameðferð (RTP). Sérstaklega er fjallað um einsleitni PZT-filmu á allri skúffunni eftir RTP, þar á meðal muninn á kristalstefnu, yfirborðsformgerð og frumefnasamsetningu á mismunandi stöðum.
Mynd 1 sýnir að PZT kvikmyndir hafa svipaða (001) grindarstefnu, yfirborðsformgerð og frumefnadreifingu á mismunandi stöðum, sem gefur til kynna að RTP meðferð hjálpar til við að ná einsleitni PZT kvikmynda. Það má komast að því að fyrir RTP meðferð birtist aðeins Py fasi í PZT filmu og eftir RTP meðferð birtist aðallega (001) stilltur Pe fasi í PZT filmu. Að auki sýndi yfirborð PZT kvikmynda sem voru meðhöndlaðir með RTP þétt raðað súlulaga korn án augljósra sprungna eða hola.
Rafmagns- og járneiginleikar PZT-filma á mismunandi stöðum á skífunni eftir RTP-meðferð eru sýndir, þar á meðal hlutfallsrafmagnsfasti, járnrafmagnshysteresislykkja og rafstraumstap. Meðal þeirra er yfirborðsformgerðin mjög slétt og það eru engir augljósir gallar, sem bendir til þess að PZT filman hafi góð yfirborðsgæði. Hlutfallslegur rafstraumsfasti og raftap breytast með breytingu á rafsviði, sem sýnir dæmigerðan járnrafmagns fiðrildahring, sem sannar að PZT kvikmyndir hafa góða járneiginleika. Skautunar-rafsviðsferlarnir sýna einnig dæmigerða járneiginleika, sem gefur til kynna að PZT kvikmyndir hafi góða járnrafmagnseiginleika.
Þess vegna hjálpar RTP meðferð við að bæta örbyggingu og eiginleika PZT kvikmynda, þannig að þær hafi svipaða (001) grindarstefnu, yfirborðsformgerð og frumefnadreifingu á mismunandi stöðum, sem er til þess fallið að bæta einsleitni og frammistöðu kvikmyndanna.